Penerapan Penganalisis Ukuran Partikel Laser dalam Pengukuran Bahan Keramik Semikonduktor

Jun 25, 2026 Tinggalkan pesan

Dengan pertumbuhan pesat server AI, pengemasan HBM, semikonduktor daya, dan lokalisasi peralatan terkait, material keramik semikonduktor telah menjadi salah satu bidang aplikasi keramik canggih yang paling cepat berkembang dalam beberapa tahun terakhir. Contohnya termasuk alumina dan aluminium nitrida yang digunakan dalam kemasan, keramik fungsional seperti termistor NTC/PTC dan varistor ZnO, dan keramik struktural peralatan seperti chuck elektrostatis (ESC), pemanas, cincin fokus, dan komponen insulasi ruang. Ukuran partikel rata-rata serbuk awal untuk bahan-bahan ini sebagian besar berada pada kisaran submikron, dengan sebagian besar berada pada kisaran nanometer (<100 nm). Moreover, most are mixtures with extremely high surface energy, making them difficult to disperse, which in turn leads to significant deviations or even errors in particle size analysis.

2026-06-25080959898

Penganalisis ukuran partikel laser pada awalnya digunakan sebagai instrumen-pengujian serbuk untuk tujuan umum. Namun, dengan semakin ketatnya persaingan industri dan pemahaman aplikasi yang lebih mendalam oleh produsen instrumen, teknik, fungsi, dan bahkan model khusus yang lebih terspesialisasi telah bermunculan agar lebih sesuai dengan kebutuhan pelanggan profesional. Memberikan solusi-khusus industri untuk bahan keramik semikonduktor sangat selaras dengan tren pasar-hal ini disebabkan, di satu sisi, oleh keterbatasan yang melekat pada instrumen difraksi laser, dan di sisi lain, karena komposisi kompleks dan distribusi ukuran partikel yang luas dari bubuk keramik semikonduktor. Berdasarkan konsensus industri, hanya sekitar 10% kesalahan pengukuran berasal dari unit deteksi instrumen, sementara lebih dari 90% masalah timbul dari langkah pengambilan sampel dan penyebaran. Selain itu, bahan yang berbeda memiliki indeks bias dan koefisien serapan yang berbeda-misalnya, alumina memiliki indeks bias hanya 1,76, sedangkan silikon karbida melebihi 2,6 sehingga penggunaan pengaturan parameter yang sama untuk bahan yang berbeda pasti akan merusak hasil. Pengukuran "ukuran partikel batas" juga merupakan kendala umum lainnya: partikel yang sangat halus mengalami penurunan intensitas hamburan yang tajam, sedangkan partikel yang sangat kasar menghadapi masalah seperti sinyal hamburan yang terkonsentrasi dan resolusi yang tidak memadai.