Cincin Keramik Molar Semikonduktor

Deskripsi Produk Cincin Keramik Molar Semikonduktor biasanya mengacu pada komponen keramik penting yang digunakan dalam manufaktur semikonduktor dan peralatan elektronik berdaya{0}tinggi. Istilah "Molar" pada namanya kemungkinan besar berasal dari merek atau seri tertentu, umumnya mengacu pada...

Deskripsi Produk

Cincin Keramik Molar Semikonduktor biasanya merujuk pada komponen keramik penting yang digunakan dalam manufaktur semikonduktor dan peralatan elektronik berdaya{0}tinggi. Istilah "Molar" dalam namanya kemungkinan besar berasal dari merek atau seri tertentu, umumnya mengacu pada bagian struktural berbentuk cincin-yang terbuat dari bahan keramik berperforma tinggi (seperti alumina, aluminium nitrida, silikon nitrida, dll.). Memanfaatkan stabilitas fisik dan kimianya yang luar biasa, cincin keramik ini menjalankan fungsi inti seperti isolasi, penyegelan, penahan beban, dan perpindahan panas di lingkungan industri yang keras. Mereka adalah komponen penting untuk memastikan pengoperasian ruang proses semikonduktor, peralatan etsa, peralatan deposisi, dan modul daya yang stabil dan andal.

semiconductor-molar-ceramic-ring

Kinerja utama

Isolasi Listrik Yang Sangat Baik: Memiliki resistivitas volume dan kekuatan dielektrik yang sangat tinggi, secara efektif mengisolasi tegangan tinggi, mencegah kebocoran arus, dan memastikan keamanan peralatan.
Stabilitas Termal yang Luar Biasa: Memiliki ketahanan-suhu tinggi yang menonjol (seringkali mampu beroperasi-jangka panjang di atas 1000 derajat ), koefisien muai panas yang rendah, ketahanan terhadap retak akibat siklus termal yang cepat, dan ketahanan guncangan termal yang baik.
Kekuatan Mekanik Tinggi: Kekerasan tinggi, ketahanan aus yang baik, dengan kekuatan lentur dan tekan yang baik, mampu menahan tekanan mekanis dan tekanan perakitan tertentu.
Inersia Kimia yang Luar Biasa: Menawarkan ketahanan yang sangat baik terhadap sebagian besar gas korosif, plasma, dan lingkungan asam/alkali kuat, meminimalkan reaksi kimia atau kontaminasi lingkungan proses.
Kinerja Penyegelan Vakum yang Baik: Mempertahankan kinerja penyegelan yang stabil dalam kondisi-suhu tinggi dan-vakum tinggi, memenuhi persyaratan vakum ultra-tinggi pada proses semikonduktor.
Sifat Manajemen Termal Ideal: Beberapa jenis konduktivitas termal tinggi (misalnya, cincin keramik aluminium nitrida) memiliki konduktivitas termal tinggi, yang secara efektif menghantarkan dan menghilangkan panas yang dihasilkan selama pengoperasian peralatan.

Parameter Khas

Material: Common materials include high-purity alumina (Al₂O₃, content >96%), aluminium nitrida (AlN), silikon nitrida (Si₃N₄), dll.

Kisaran Ukuran: Diameter bagian dalam dapat berkisar dari beberapa milimeter hingga beberapa ratus milimeter; diameter luar dan tinggi disesuaikan berdasarkan desain tertentu.

Suhu Pengoperasian: Dapat menahan suhu maksimum dari 1200 derajat hingga 1800 derajat (tergantung material).

Konduktivitas Termal: Alumina sekitar 20-30 W/(m·K); aluminium nitrida bisa mencapai 150-200 W/(m·K).

Resistivitas Volume: Biasanya lebih besar dari 10¹² Ω·cm pada suhu kamar.

Kekuatan Dielektrik: Biasanya berkisar antara 10-20 kV/mm.

Kekuatan Lentur: Keramik alumina sekitar 300-400 MPa; keramik silikon nitrida bisa mencapai 600-800 MPa.

ceramicstimes performance parameter

Aplikasi Utama

Peralatan Manufaktur Semikonduktor: Banyak digunakan di ruang proses peralatan seperti etsa plasma (Etch), deposisi uap kimia (CVD), dan deposisi uap fisik (PVD). Berfungsi sebagai cincin insulasi, cincin fokus, pelapis ruang, atau cincin pelindung untuk membatasi plasma, melindungi dinding ruang, menghomogenisasi lingkungan proses, dan mencegah kontaminasi partikel.
Modul Elektronik Daya: Digunakan dalam pengemasan perangkat seperti IGBT,-LED berdaya tinggi, dan laser sebagai substrat pembuangan panas terisolasi atau cincin pendukung untuk isolasi listrik dan pembuangan panas yang efisien.
Sistem Vakum: Digunakan untuk sambungan berinsulasi, seal feedthrough, dan struktur pendukung dalam sistem vakum-tinggi atau-ultra-vakum.
Peralatan Pemrosesan Suhu Tinggi-: Berfungsi sebagai penyetel, pelapis tungku, atau elemen pendukung dalam tungku sintering dan tungku perlakuan panas.
Bidang Energi dan Tenaga Baru: Digunakan dalam-peralatan produksi fotovoltaik film tipis, tumpukan sel bahan bakar, dan sebagai komponen insulasi pada-peralatan listrik bertegangan tinggi.
Peralatan Medis dan Penelitian: Bertindak sebagai komponen kunci dalam instrumen analitik, akselerator, dan peralatan presisi lainnya yang memerlukan vakum tinggi, insulasi tinggi, atau ketahanan terhadap korosi.