Deskripsi Produk
Chuck keramik silikon karbida adalah komponen fungsional canggih yang dibuat dari-bahan keramik silikon karbida dengan kemurnian tinggi.
Mereka dirancang khusus untuk fiksasi, dukungan, dan konduksi termal yang presisi dalam lingkungan proses yang sangat-vakum tinggi dan ekstrem. Sebagai bahan habis pakai inti untuk peralatan manufaktur semikonduktor-seperti mesin litografi, etsa, dan sistem CVD/PVD-kinerjanya secara langsung menentukan presisi pembuatan chip, tingkat hasil, dan efisiensi produksi.
Kinerja produk
- Kekerasan dan Ketahanan Aus yang Luar Biasa: Dengan kekerasan Mohs melebihi 9,2, silikon karbida adalah salah satu bahan keramik teknis yang paling keras, nomor dua setelah berlian. Hal ini membuat produk silikon karbida seperti bushing silikon karbida, bantalan silikon karbida, dan segel mekanis silikon karbida sangat tahan aus dan ideal untuk aplikasi keramik tahan aus.
- Stabilitas Termal dan Kimia Unggul: Ini menunjukkan koefisien ekspansi termal yang sangat rendah dan dapat beroperasi pada suhu hingga 1650 derajat di atmosfer inert. Sifat tahan api ini, dikombinasikan dengan ketahanan yang sangat baik terhadap guncangan termal dan korosi dari asam dan basa, menjadikannya sempurna untuk elemen pemanas silikon karbida, tabung pelindung silikon karbida, dan komponen dalam proses CMP dan ICP.
- Konduktivitas Termal dan Tunabilitas Listrik yang Sangat Baik: Konduktivitas termalnya yang tinggi (sering kali lebih unggul daripada tembaga pada suhu tinggi) menjadikan pelat silikon karbida ideal sebagai substrat manajemen termal. Resistivitas listriknya dapat direkayasa secara tepat, sehingga memungkinkan penggunaannya dalam chuck elektrostatis (ESC) dan sebagai bahan semikonduktor celah pita lebar untuk elektronika daya.
- Kekuatan Tinggi dan Ringan: SiC yang disinter menawarkan kekuatan dan kekakuan mekanis yang tinggi dengan kepadatan yang relatif rendah, berkontribusi terhadap daya tahan dan presisi komponen seperti roller dan dayung silikon karbida.
- Keserbagunaan Manufaktur: Keramik silikon karbida dapat dibentuk menjadi bentuk kompleks melalui sintering, ikatan reaksi, atau Deposisi Uap Kimia (CVD). Pasca-pemrosesan seperti pelapisan silikon karbida (misalnya, pelapisan CVD SiC) dapat lebih meningkatkan sifat permukaan untuk aplikasi tertentu.
Aplikasi produk
- Manufaktur Semikonduktor: Penting untuk penanganan dan pemrosesan wafer. Produk utamanya meliputi ESC untuk etsa (ICP) dan deposisi (PVD, CVD), pembawa silikon karbida untuk CMP, dan peralatan proses seperti perahu silikon karbida, dayung silikon karbida, dan tabung tungku silikon karbida. Tingkat kemurnian-yang tinggi sangat penting untuk mencegah kontaminasi.
- Industri & Metalurgi: Digunakan sebagai furnitur kiln (roller, balok), komponen pompa dan katup (seal, bushing), pelapis siklon, dan cawan lebur untuk peleburan logam. Bahan tahan api silikon karbida digunakan dalam-tungku bersuhu tinggi.
- Energi & Lingkungan: Komponen dalam penukar panas (tabung penukar panas silikon karbida), cincin segel untuk pompa di lingkungan yang keras, dan substrat untuk target sputtering.
- Ruang Angkasa & Pertahanan: Digunakan dalam komposit matriks keramik (CMC), pelindung, dan komponen untuk lingkungan-bersuhu tinggi,-tekanan tinggi karena kemampuannya yang sangat-bersuhu tinggi.
- Elektronik: Sebagai substrat GaN pada SiC pada perangkat RF dan bahan dasar untuk semikonduktor daya silikon karbida itu sendiri.
- Otomotif: Komponen sistem pengereman dan pompa air, dan sebagai bahan inti elektronika tenaga kendaraan listrik.
- Manufaktur Aditif: Meningkatnya penggunaan dalam manufaktur aditif keramik untuk memproduksi komponen silikon karbida yang kompleks.
Justifikasi Seleksi
Memilih chuck vakum keramik silikon karbida kami berarti Anda memilih,
- Hasil Lebih Tinggi: Mengurangi cacat proses melalui keseragaman dan stabilitas termal yang luar biasa.
- CoO yang lebih rendah: Mengurangi biaya per wafer secara signifikan melalui masa pakai yang lebih lama dan meminimalkan waktu henti untuk pemeliharaan.
- Kemampuan Proses Tingkat Lanjut: Perusahaan kami memegang lebih dari 30 paten Tiongkok. Kami menguasai proses teknis tingkat lanjut, termasuk sintering, pembentukan, penggilingan, permesinan CNC, pengeboran laser, lapping, dan pemolesan.
- Kemitraan yang Andal: Kami menyediakan layanan{0}}hingga-end dari desain dan manufaktur hingga pengujian dan-dukungan purna jual.
Kekuatan Pabrik
Lokakarya digital, pabrik cerdas, dan sistem akuisisi data{0}waktu nyata kami memanfaatkan prinsip lean manufacturing untuk meminimalkan pemborosan dan memaksimalkan efisiensi sumber daya.
Dengan mengintegrasikan teknologi permesinan CNC, IoT industri, dan sistem kontrol otomatis, kami mencapai konektivitas tanpa batas dan operasi kolaboratif antar peralatan produksi, sehingga memaksimalkan penghematan produksi.
Tag populer: Chuck Silikon Karbida Keramik, produsen, pemasok, pabrik Chuck Silikon Karbida Keramik, Aluminium nitrida dan bagian -bagian berbentuk khususnosel silikon nitrida
