Deskripsi Produk
Nozel keramik semikonduktor berfungsi sebagai komponen presisi penting dalam peralatan fabrikasi wafer semikonduktor (jika etsa, sistem deposisi uap kimia, dan implanter ion). Fungsi utamanya adalah memandu, mendistribusikan, dan mengontrol gas proses (atau gas reaktif) dan plasma secara tepat, mengarahkannya untuk berinteraksi dengan permukaan wafer silikon dalam pola aliran dan status energi tertentu. Hal ini memungkinkan proses termasuk deposisi-film tipis, pengetsaan pola, dan modifikasi permukaan.
Kinerja produk
- Ketahanan aus yang luar biasa dan masa pakai yang lebih lama: Bahan keramik memiliki kekerasan yang sangat tinggi (misalnya, keramik alumina 995 melebihi Hv1500, dan keramik zirkonia sama baiknya), secara efektif menahan abrasi jangka panjang dari partikel padat dalam bubur seperti larutan pemoles dan photoresist.
- Ketahanan korosi kimia yang luar biasa: Mereka menunjukkan toleransi yang luar biasa terhadap pelarut dalam photoresist, larutan pembersih asam/alkali kuat, gas reaktif, dan bahan korosif lainnya, tidak menunjukkan karat atau degradasi kimia bahkan setelah penggunaan jangka panjang.
- Stabilitas termal dan dimensi yang unggul: Dengan koefisien ekspansi termal yang sangat rendah, keramik mempertahankan konsistensi bentuk dan dimensi pori pada tingkat mikron- atau bahkan nanometer-di bawah fluktuasi suhu proses.
- Hasil Akhir Permukaan Tinggi dan Kontaminasi Rendah: Badan sinter keramik dapat mencapai hasil akhir seperti cermin melalui pemesinan keramik presisi. Permukaannya tahan terhadap adhesi partikel, bersifat non-magnetik, dan mudah dibersihkan.
- Isolasi Luar Biasa dan Sifat Fungsional: Keramik adalah isolator yang unggul. Alumina menawarkan kinerja insulasi yang luar biasa, biasa digunakan pada isolator alumina dan pelat keramik insulasi ZrO₂. Keramik alumina nitrida juga menunjukkan konduktivitas termal yang tinggi, cocok untuk aplikasi dengan persyaratan kontrol suhu khusus.
Aplikasi produk
- Etsa plasma: Berfungsi sebagai kepala semprotan gas atau nosel dinding samping untuk mendistribusikan gas etsa secara merata.
- Peralatan pengendapan uap kimia: Dalam proses PECVD dan ALD, memasukkan gas prekursor secara seragam ke dalam ruang reaksi.
- Penanaman ion: Digunakan untuk memandu dan membentuk berkas ion.
- Tungku difusi: Berfungsi sebagai nosel injeksi gas.
Kontrol Kualitas
Kami secara ketat mengikuti sistem manajemen mutu ISO 9001 untuk memastikan konsistensi:
- Inspeksi bahan baku 100%.
- Jalur produksi-pengepresan panas tingkat lanjut
- Pengujian-di rumah: kepadatan, kekerasan, analisis struktur mikro
- Sertifikasi pihak-ketiga (SGS, CE, ROHS tersedia berdasarkan permintaan)
Sertifikat dan Penghargaan
Kami memiliki keahlian teknis tingkat lanjut dalam proses sintering, pembentukan, penggilingan, pemesinan CNC, pengeboran laser, penggilingan, dan pemolesan, antara lain. Kami menyesuaikan berbagai produk keramik sesuai dengan kebutuhan pelanggan.
kekuatan pabrik
Kami menerapkan metode dan teknik ilmiah di seluruh proses desain dan manufaktur produk atau proyek untuk mengoptimalkan dan meningkatkan struktur, kinerja, dan alur kerja produksi berdasarkan kebutuhan pelanggan. Proses ini didedikasikan untuk memajukan teknologi, meningkatkan kualitas produk, dan mengurangi biaya produksi.
Tag populer: nosel keramik semikonduktor, produsen nosel keramik semikonduktor, pemasok, pabrik, nosel keramik konduktif, Chuck silikon karbida
