Industri semikonduktor mengikuti hukum industri “satu generasi teknologi, satu generasi proses, satu generasi peralatan.” Kinerja, kualitas, dan presisi komponen secara langsung menentukan keandalan dan stabilitas peralatan, yang pada gilirannya mempengaruhi tingkat teknologi manufaktur semikonduktor.
Secara umum, pengeluaran untuk komponen peralatan mencapai 50% hingga 80% dari nilai peralatan, dengan komponen utama mengambil porsi yang sangat besar. Mengambil contoh peralatan etsa, sepuluh jenis komponen utama menyumbang sekitar 85% dari total pengeluaran komponen peralatan. Jelaslah bahwa teknologi komponen inti merupakan landasan bagi kelangsungan dan perkembangan industri peralatan semikonduktor.
Di antara komponen yang terbuat dari berbagai bahan, keramik presisi adalah komponen presisi yang paling representatif dalam industri semikonduktor, memainkan peran penting dalam proses-end dan-backend.
Pada peralatan-depan, keramik presisi terutama digunakan dalam etsa, deposisi-film tipis, implantasi ion, litografi, difusi oksidasi, dan peralatan proses lainnya. Komponen keramik presisi adalah salah satu jenis komponen yang ditempatkan paling dekat dengan wafer dalam pembuatan semikonduktor. Sebagian besar komponen keramik presisi yang digunakan dalam peralatan semikonduktor terletak di dalam ruang proses, dan beberapa di antaranya bersentuhan langsung dengan wafer.
Misalnya, dalam mesin litografi canggih, untuk mencapai presisi proses yang tinggi, komponen keramik dengan sifat komposit fungsional yang baik, stabilitas struktural, stabilitas termal, dan akurasi dimensi banyak digunakan. Ini termasuk E-chuck, chuck vakum, balok, pelat berpendingin air-rangka baja magnetik, reflektor, rel pemandu, dll. Komponen utama tersebut biasanya terbuat dari bahan keramik presisi.
Dalam peralatan etsa, bahan keramik umumnya menawarkan ketahanan korosi fisik dan kimia yang baik serta suhu pengoperasian yang tinggi. Oleh karena itu, mereka banyak digunakan di area pandang, pelat distribusi gas, nozel, cincin isolasi, pelat penutup, cincin fokus, dan chuck elektrostatis.
Dalam proses back{0}}end, keramik presisi banyak digunakan dalam penipisan wafer, pemotongan dadu, pengikatan, dan langkah lainnya. Menurut para ahli terkait, keramik presisi menyumbang 10% hingga 16% dari biaya peralatan semikonduktor.
Singkatnya, keramik presisi, sebagai bahan hulu utama dalam industri semikonduktor, sangat penting bagi pengembangan sektor semikonduktor.
Didorong oleh gelombang global revolusi teknologi AI, industri semikonduktor sedang mengalami peningkatan dan perluasan yang belum pernah terjadi sebelumnya. Didorong oleh transmisi permintaan, permintaan peralatan semikonduktor dan komponen intinya terus meningkat. Diantaranya, komponen keramik presisi akan mendapat manfaat signifikan dari tren makro ini, dan menunjukkan lintasan “pertumbuhan stabil” secara keseluruhan.
Perlu ditekankan:
Perlombaan senjata dalam kekuatan komputasi AI secara langsung diterjemahkan ke dalam upaya ekstrem untuk mencapai kemampuan manufaktur semikonduktor yang canggih. Pelatihan dan menjalankan model besar memerlukan chip AI-berperforma tinggi dalam jumlah besar, yang sangat mendorong belanja modal dalam jumlah besar dalam proses logika tingkat lanjut (misalnya, 2nm, 3nm) dan teknologi pengemasan canggih (misalnya, CoWoS, HBM). Untuk meningkatkan kapasitas dan meningkatkan tingkat proses, pabrik wafer harus membeli peralatan inti yang lebih canggih seperti litografi, etsa, dan-alat pengendapan film tipis.
Karena keramik presisi adalah komponen utama yang menentukan keandalan dan stabilitas peralatan, peralatan semikonduktor yang lebih canggih menuntut kinerja yang lebih tinggi dari komponen keramik presisi, seperti kemurnian, presisi, dan keandalan yang lebih ketat.
Oleh karena itu, di tengah gelombang AI, permintaan akan keramik presisi akan terus meningkat, terutama komponen keramik presisi tinggi{0}}yang akan semakin terbatas.
AI adalah yang terdepan dalam persaingan teknologi global, dan peralatan semikonduktor serta komponen intinya telah menjadi sumber daya kendali strategis. Keramik-presisi kelas atas, sebagai komponen inti peralatan utama seperti litografi, etsa, dan alat pengendapan, secara langsung menentukan apakah infrastruktur daya komputasi AI Tiongkok dapat mencapai otonomi dan kontrol. Jika terjadi pemutusan pasokan eksternal-, dampaknya tidak hanya terbatas pada beberapa peralatan saja namun akan berdampak pada proses pembangunan seluruh negara di era AI. Oleh karena itu, substitusi tidak pernah menjadi masalah "optimasi biaya" namun merupakan keharusan untuk memastikan "kedaulatan pembangunan" teknologi AI.
Kenyataannya saat ini adalah di bidang keramik presisi untuk peralatan semikonduktor kelas atas, tingkat lokalisasinya masih rendah. Kategori-kategori utama seperti chuck elektrostatis dan pemanas keramik sangat bergantung pada impor, sehingga menciptakan hambatan besar bagi keamanan rantai industri. Didorong oleh kebijakan makro yang mendukung otonomi rantai pasokan, pesatnya perluasan pasar AI, dan dorongan strategis dari produsen peralatan domestik hilir untuk secara aktif mengimpor komponen lokal guna mengoptimalkan rantai pasokan, urgensi dan peluang substitusi impor keramik presisi kelas atas untuk peralatan semikonduktor kini sudah jelas.