Deskripsi Produk

Cincin keramik semikonduktor adalah-komponen keramik khusus berperforma tinggi yang digunakan dalam tahap penting proses manufaktur semikonduktor. Biasanya terbuat dari bahan keramik dengan-kemurnian tinggi,-kepadatan presisi tinggi, dan memiliki struktur cincin melingkar. Ini berfungsi sebagai bagian utama yang dapat dikonsumsi dalam ruang reaksi peralatan semikonduktor yang digunakan untuk proses seperti difusi, oksidasi, deposisi uap kimia (CVD), dan etsa.

Fungsi utamanya termasuk mendukung wafer silikon (atau membentuk lingkungan gas proses tertentu dan bidang aliran seragam) sekaligus tahan terhadap kondisi pengoperasian ekstrem-termasuk suhu tinggi, gas yang sangat korosif, pemboman plasma, dan siklus termal yang cepat. Oleh karena itu, kinerjanya berdampak langsung pada stabilitas proses, keseragaman, pengendalian kontaminasi partikulat, dan pada akhirnya hasil produk chip akhir.

Semiconductor Ceramic Rings

detail produk

Nama Produk	Cincin Keramik Semikonduktor
Warna	Disesuaikan sesuai dengan kebutuhan klien
ukuran	Disesuaikan sesuai dengan kebutuhan klien
Kemasan	Karton / Pallet / Kasus Kayu (Sesuai dengan kebutuhan klien)
Waktu pengiriman	Produk Standar-Dalam 3 hari
Desain Barang	Menurut gambar atau sampel klien
Fitur	Kualitas bagus, harga murah, Banyak pabrik, dikirimkan kepada Anda berdasarkan yang terdekat dengan lokasi Anda
Aplikasi	Keramik Industri
Sertifikat	ISO, CE

Karakteristik Kinerja Utama

Bahan dengan kemurnian tinggi

Pemilihan bahan baku keramik dengan kemurnian tinggi-secara efektif mengurangi gangguan pengotor dalam proses pembuatan semikonduktor. Cincin keramik semikonduktor biasanya terbuat dari bahan keramik dengan kemurnian-tinggi, seperti Aluminium oksida,Silikon nitrida, dll. Cincin tersebut memiliki kekerasan yang sangat tinggi dan dapat menahan tekanan mekanis selama pemrosesan, sehingga secara efektif memastikan tingkat hasil dan stabilitas kinerja chip.

Ketahanan suhu tinggi yang sangat baik

Dalam alur proses manufaktur semikonduktor yang kompleks, banyak langkah proses utama, seperti difusi dan anil, perlu dilakukan di lingkungan bersuhu{0}}tinggi yang keras. Cincin keramik semikonduktor telah menunjukkan kinerja luar biasa dalam hal ini dan dapat menahan suhu tinggi ratusan atau bahkan ribuan derajat. Bahkan dalam kondisi suhu yang sangat tinggi, cincin keramik semikonduktor masih dapat mempertahankan kekuatan mekanik dan integritas struktural yang baik. Selain itu, tidak peduli menghadapi perubahan cepat suhu tinggi atau rendah, cincin keramik semikonduktor tidak akan menunjukkan kondisi buruk seperti deformasi, retak, atau pelunakan. Hal ini memberikan dukungan-yang kokoh dan andal untuk kelancaran proses-suhu tinggi dalam manufaktur semikonduktor, sehingga sangat meningkatkan kualitas dan hasil chip.

Stabilitas kimia yang sangat baik

Cincin keramik semikonduktor memiliki stabilitas kimia yang sangat baik, ketahanan korosi yang sangat baik terhadap berbagai bahan kimia, dan dapat tetap stabil di lingkungan pemrosesan yang keras, memastikan kemurnian dan keandalan proses pembuatan chip.

Kontrol ukuran yang tepat

Proses pembuatan cincin keramik semikonduktor dapat mencapai akurasi dimensi yang sangat tinggi. Parameter cincin keramik semikonduktor seperti diameter dalam, diameter luar, ketebalan, dan kerataan permukaan dapat dikontrol secara tepat dalam toleransi yang sangat kecil. Dalam peralatan pembuatan chip, adaptasi dimensi yang tepat ini sangat penting. Cincin keramik semikonduktor dapat bekerja sama secara sempurna dengan komponen lain seperti wafer, elektroda, ruang reaksi, dll. untuk memastikan aliran gas dan cairan proses yang seragam, dan distribusi medan fisik yang seragam seperti medan listrik dan medan magnet, sehingga meningkatkan keseragaman proses dan kemampuan pengulangan dalam proses pembuatan chip, serta membantu mencapai-skala besar,-efisiensi, dan-produksi chip berkualitas tinggi.

Kinerja isolasi listrik yang baik

Cincin keramik semikonduktor memiliki sifat isolasi listrik yang sangat baik dan dapat menahan tegangan tinggi tanpa kerusakan. Fitur ini memungkinkan cincin keramik semikonduktor memainkan peran isolasi dan isolasi di lokasi-lokasi utama seperti sistem elektroda dan bagian sambungan sirkuit pada peralatan pembuatan chip, memastikan keamanan dan stabilitas sistem kelistrikan selama proses pembuatan semikonduktor dan menghindari kerusakan chip atau kecelakaan produksi yang disebabkan oleh masalah kelistrikan.

Aplikasi Pasar

Cincin keramik semikonduktor terutama digunakan dalam tiga bidang inti manufaktur sirkuit terpadu: difusi/pemrosesan termal, deposisi uap kimia (CVD), dan etsa kering (Etch).

Proses Difusi/Oksidasi/LPCVD

Dalam-tabung tungku bersuhu tinggi, cincin keramik (sering disebut sebagai "dayung perahu" atau "perahu") digunakan untuk menumpuk secara horizontal atau vertikal dan menopang beberapa wafer silikon. Mereka harus memastikan pemanasan yang seragam dan kondisi-bebas kontaminasi untuk semua wafer pada suhu hingga 1200 derajat . Cincin keramik alumina banyak digunakan dalam aplikasi tersebut.

Proses Deposisi Uap Kimia (CVD).

Dalam ruang reaksi CVD, cincin keramik berfungsi sebagai susceptor atau pelapis ruang, mendukung wafer dan mengoptimalkan bidang aliran gas reaksi. Konduksi termal yang seragam sangat penting untuk mencapai deposisi film yang konsisten. Cincin keramik aluminium nitrida banyak digunakan di bidang ini karena konduktivitas termalnya yang sangat baik.

Proses Etsa Kering

Ini adalah salah satu aplikasi yang paling menuntut untuk cincin keramik. Dalam ruang etsa yang berisi plasma-energi tinggi dan gas korosif, cincin keramik berfungsi sebagai cincin fokus, cincin pengekang, atau pelapis ruang. Peran utamanya adalah mengontrol keseragaman distribusi plasma, melindungi dinding ruang logam dari korosi, dan mengurangi kontaminasi partikulat.Cincin keramik yttrium oksida (Y₂O₃).telah menjadi pilihan utama untuk proses etsa tingkat lanjut karena ketahanannya yang tak tertandingi terhadap erosi plasma berbasis fluor-.

Kegunaan Tambahan Lainnya

Mereka juga dapat berfungsi sebagai komponen isolasi dalam sistem pengukuran atau transfer, atau sebagai cincin pembatas dalam robotika penanganan wafer

Kinerja produk

Nomor	Pertunjukan	Satuan	Aluminium Nitrida
			Aluminium Nitrida
			JC-AN-210	JC-AN-170
1	Kepadatan	gram/cm3	3.32~3.34	3.31~3.33
2	Kekuatan lentur	MPa	340~360	400~420
3	Ketangguhan patah	MPa·m1/2	3.35	3.35
4	Konstanta dielektrik	εr(20 derajat, 1MHz)	8.8~9.0	8.7~8.9
5	Kekerasan	IPK	12-16
	Kekerasan	HRC	75-80
6	Resistivitas volume	Ω·cm(20 derajat)	10 10	10 10
7	Modulus elastis	IPK	310	320
8	Koefisien ekspansi termal	×10-6/k	4.8~5.0	4.5~4.7
9	Kekuatan tekan	MPa	2100	2000
10	Abrasi	gram/cm2	0.01	0.01
11	Konduktivitas termal	L/m×k(20 derajat)	200~220	160~180
12	rasio Poisson	/	0.24	0.24
13	Kekuatan isolasi	kv/mm	26~28	30~32
14	Suhu	derajat	2500	2500

kontrol kualitas

Dengan mematuhi Sistem Manajemen Mutu ISO 9001, kami menerapkan-kontrol kualitas proses penuh untuk memastikan pengiriman produk-berkualitas tinggi secara konsisten:

• Inspeksi 100% bahan baku, menjamin kualitas dari sumbernya
• Pemanfaatan jalur produksi-pengepresan panas yang canggih untuk proses yang stabil dan andal
• Sistem pengujian internal{0}}yang komprehensif yang mencakup analisis kepadatan, kekerasan, dan struktur mikro
• Ketersediaan sertifikasi resmi-pihak ketiga (termasuk SGS, CE, ROHS, dll., diberikan berdasarkan permintaan)

Kami tetap berkomitmen untuk terus meningkatkan sistem manajemen kami, memberikan jaminan produk yang konsisten dan dapat diandalkan kepada pelanggan.

certificate

mengapa memilih kami

Kami adalah produsen profesional dan pemasok berbagai cincin keramik semikonduktor. Kami memiliki pabrik dan tim produksi cincin keramik semikonduktor profesional. Selain itu, kami mengkhususkan diri pada cincin keramik semikonduktor dan kami memiliki perusahaan di Amerika Serikat. Sejujurnya, kami memberikan layanan yang cukup profesional dan tulus. Jika Anda memerlukan-cincin keramik semikonduktor berkualitas tinggi atau produsen keramik lainnya &-mitra jangka panjang di luar negeri, jangan ragu untuk menghubungi kami. Kami mendukung segala-penyesuaian dengan tingkat kesulitan tinggi dan kami akan berusaha sebaik mungkin untuk memenuhi kebutuhan Anda.

Jika Anda memiliki pertanyaan tentang chuck Keramik, Anda dapat mengklik kamiHubungi kamitombol segera, akan ada layanan pelanggan profesional untuk menjawab pertanyaan Anda.
Menantikan kunjungan Anda!