Cakram Pembawa Silikon Karbida

Cakram Pembawa Silikon Karbida

Deskripsi Produk Dalam manufaktur semikonduktor, susceptor silikon karbida (SiC) (juga disebut pembawa wafer, alas, atau baki) untuk peralatan CVD merupakan bahan habis pakai inti yang penting. Pentingnya berasal dari sifat unik silikon karbida, yang menjadikannya silikon karbida ideal...
Kirim permintaan
Obrolan Sekarang
Deskripsi

Deskripsi Produk

 

Pelat pembawa keramik silikon karbida dibuat dari bahan mentah silikon karbida (SiC) dengan kemurnian tinggi melalui proses seperti sintering reaksi (silikon karbida terikat reaksi), sintering tanpa tekanan (silikon karbida sinter), atau rekristalisasi (silikon karbida rekristalisasi / SiC rekristalisasi). Bahan SiC sendiri memiliki ikatan kovalen yang kuat dan struktur yang stabil, sehingga memberikan pelat pembawa sifat fisik dan kimia yang luar biasa (sifat silikon karbida). Mereka biasanya digunakan untuk menggantikan bahan tradisional seperti kuarsa dan alumina, khususnya di bidang yang menuntut standar kebersihan, ketahanan suhu, dan ketahanan guncangan termal yang sangat tinggi.

Silicon carbide carrier disc for CVD equipment.

 

Karakteristik dan Parameter Kinerja Utama

 

  • Ketahanan-Suhu Tinggi: Mampu beroperasi secara stabil-jangka panjang di lingkungan di atas 1600 derajat, dengan toleransi jangka pendek-mencapai 1650 derajat atau lebih tinggi. Cocok untuk skenario aplikasi keramik suhu ultra-tinggi (keramik suhu sangat tinggi).
  • Konduktivitas Termal yang Sangat Baik: Konduktivitas termal yang tinggi dari silikon karbida memfasilitasi perpindahan panas yang cepat dan seragam, mengurangi gradien suhu selama proses.
  • Kekerasan Tinggi dan Ketahanan Aus: Dengan kekerasan Mohs mendekati 9,5, keramik ini merupakan-keramik tahan aus yang sangat baik, tahan terhadap aus dan kontaminasi partikel.
  • Ketahanan Guncangan Termal yang Kuat: Karena koefisien muai panasnya yang rendah, ia dapat menahan perubahan suhu yang drastis tanpa retak.
  • Kelambanan Kimia: Tahan terhadap korosi asam dan alkali, dan tidak mungkin bereaksi dengan sebagian besar gas atau bahan proses. Komposisi kimia silikon karbida stabil.
  • Kebersihan Tinggi: Material memiliki struktur padat, seperti SiC yang disinter, dengan permukaan halus yang meminimalkan adsorpsi pengotor, sehingga cocok untuk-lingkungan proses dengan kemurnian tinggi.

ceramicstimes performance parameter

Aplikasi Utama dan Produk Terkait

 

  • Industri Semikonduktor: Digunakan untuk membawa wafer silikon dalam-proses suhu tinggi seperti difusi, oksidasi, anil, dan CVD. Juga digunakan sebagai substrat SiC untuk epitaksi wafer silikon.
  • Industri Fotovoltaik: Berfungsi sebagai substrat pembawa dalam proses sintering dan pelapisan sel surya.
  • Manufaktur LED: Digunakan dalam reaktor MOCVD untuk membawa substrat safir.
  • Sintering Keramik Presisi: Bertindak sebagai rak tanur atau sagger untuk sintering-suhu tinggi pada keramik elektronik, keramik struktural, dan komposit matriks keramik.
  • Komponen Industri: Banyak digunakan dalam pembuatan cincin segel mekanis, bantalan, nozel, bushing/semak-semak, tabung pelindung/tabung termokopel, dan komponen SiC lainnya.
  • Bahan Tahan Api: Berfungsi sebagai bahan tahan api tingkat lanjut, digunakan untuk pelapis tungku.
  • Penelitian dan Pengujian Ilmiah: Berfungsi sebagai perangkat pendukung sampel dalam-tungku bersuhu tinggi dan pengujian material.

 

Kontrol kualitas

 

Kami secara ketat mengikuti sistem manajemen mutu ISO 9001 untuk memastikan konsistensi:

  • Inspeksi bahan baku 100%.
  • Jalur produksi-pengepresan panas tingkat lanjut
  • Pengujian-di rumah: kepadatan, kekerasan, analisis struktur mikro
  • Sertifikasi pihak-ketiga (SGS, CE, ROHS tersedia berdasarkan permintaan)

 

certificate

 

exhibition

workshop

workshop

 

 

 

 

Tag populer: Cakram Pembawa Silikon Karbida, produsen, pemasok, pabrik Cakram Pembawa Silikon Karbida, tabung keramik silikon karbidanosel keramik konduktif